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PARKER派克直線電機的應(yīng)用

2017-03-31 16:41:00
俞福任
原創(chuàng)
2954
摘要: 直線電機的優(yōu)點是:結(jié)構(gòu)簡單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性好、不怕污染、適應(yīng)性強、工作穩(wěn)定可靠、壽命長。

      派克直線電機的優(yōu)點是:結(jié)構(gòu)簡單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性好、不怕污染、適應(yīng)性強、工作穩(wěn)定可靠、壽命長。但是直線電機又分兩種:一種是無鐵芯直線電機、另一種是有鐵芯直線電機(鐵芯直線電機),這兩種直線電機都各有優(yōu)勢。
無鐵芯直線電機優(yōu)勢:
★沒有吸引力 ──平衡的雙重磁軌,安全且易于處理,安裝時不需要處理吸引力
★沒有齒槽效應(yīng)──無鐵芯動子,沒有齒槽效應(yīng),運行極度平滑
★低重量動子──沒有鐵芯意味著更高的加速度及減速度,更高的機械帶寬
★固定氣隙──易于對齊及安裝
與鐵芯直線電機相比的劣勢:
★散熱方面──更高的熱敏電阻,工字型結(jié)構(gòu)設(shè)計緩解這一問題
★同鐵芯設(shè)計相比,更低的RMS功率
★要使用兩倍量的磁鐵,增加了單位成本

、有鐵芯直線電機優(yōu)勢:
★每一尺寸更高的動力──使用疊片結(jié)構(gòu)來集中磁通量
★更低的成本──開放界面設(shè)計只使用單排磁鐵
★疊片結(jié)構(gòu)及大的表面面積確保良好的散熱
與無鐵芯直線電機相比的劣勢:
★正常吸引力──5到13倍于所產(chǎn)生的推力
★齒槽效應(yīng)──限制運動的平滑性,產(chǎn)生速度波動。使用防齒槽技術(shù)能有效抵消齒槽效應(yīng)

派克直線電機應(yīng)用舉例:

案例一:CVD ( 化學(xué)氣相沉積) ,用于LCD, OLED 和太陽能板真空沉積膜

案例二:VAS ( 真空安裝系統(tǒng)) ,用于AMOLED 封裝過程




案例三:XY 平臺,用于半導(dǎo)體考慮真空條件下直線電機應(yīng)用

★真空度
   ●Parker 無鐵芯直線電機采用標(biāo)準(zhǔn)選項-V后可以適用于10 ^ -6 Torr 環(huán)境
★排氣孔
   ●線圈上的安裝孔直接鉆穿以消除盲孔
   ●線圈的裝飾性噴涂和修復(fù)被省略以防止可能的氣泡
   ●磁軌上也鉆有排氣孔以消除可能的氣泡
★清潔Cleaning
   ●對所有器件的特殊清潔和操作以消除任何雜物
   ●特殊的包裝用來避免運輸過程的雜物
★在真空環(huán)境下特殊的選型計算
   ●因為真空環(huán)境下沒有任何對流冷卻,需要特殊選型和計算

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